BROOKS質(zhì)量流量控制器。
布魯克斯質(zhì)量流量設(shè)備在全球得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：創(chuàng)新型 MultiFlo 技術(shù)可使一臺設(shè)備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，還能夠提升過程氣體的測量準確性；擁有業(yè)內(nèi)種類*齊全的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求。
關(guān)鍵應(yīng)用：用于生物制藥的生物反應(yīng)器，石化和化工氣體和液體試驗工廠，薄膜淀積系統(tǒng)。
金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器，Z高純度氣路。
適用于對濕度或氧氣敏感的過程，高純度流路可*大限度降低過程污染，提高產(chǎn)率。
5850EM 系列，經(jīng)驗證長期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應(yīng)用。
流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm，可選增強型內(nèi)部后處理工藝 - 5μ 英寸 Ra（平均值），不受安裝角度影響。

5964, 5850EM 系列，用于要求非常低泄漏和高性能的氣流處理系統(tǒng)。
5964 和 5850EM 系列采用金屬密封或焊接接頭，確保高純度和高真空的泄漏完整性應(yīng)用。
減少內(nèi)螺紋的數(shù)量使設(shè)計不易受到系統(tǒng)污染。
快速響應(yīng)控制允許快速的氣體沉降時間，Z大限度地減少過沖/下沖。
100 級潔凈室組裝和校準（可選 5850EM）。
增強工藝（7 Ra）內(nèi)表面光潔度（可選 5850EM）。
對于帶常閉閥的 0-**** 指令步驟，小于 3 秒至*終值滿量程的 2%。

BROOKS流量計1350EEB4AEW1A 200 Psi 0-6

BROOKS質(zhì)量流量計SLAMF51SJ1AB1G2A1P3F1AA

布魯克斯流量控制器SLA5850P1AAB1A2A1

布魯克斯流量計SLA5863S2GAAOC2A1A5D1AA

布魯克斯質(zhì)量流量控制器1024NJ1N2AA2F9J00001

布魯克斯質(zhì)量流量計1350/D2D3A1B5B00

BROOKS流量控制器3750CA2A11ADKAFAA0 1500Psi

布魯克斯流量控制器1355EH2JCXG1A，0-30 SLPM

布魯克斯質(zhì)量流量計MSLA5850SJ1AB1C2A1

布魯克斯質(zhì)量流量控制器SLA5851S1AAB1C2A1T3FAAA

BROOKS質(zhì)量流量計SLA5853S20AB2C2A1

BROOKS流量計3809E11CADAA1A1

BROOKS流量控制器FBR1

布魯克斯流量控制器5851S/BD1DA11D0AA1

布魯克斯流量計SLAMF53S2HAB3G2A1

BROOKS質(zhì)量流量控制器SLAMF63S/AL1YA0BC1KA1B1

布魯克斯質(zhì)量流量計MF64S/AS4DA0BA0JA1B1

BROOKS質(zhì)量流量計MR3A15SVVT

BROOKS流量計GF040CXXC-0008200C-T1AVP4-AX-70F

BROOKS流量控制器2001E7CG4BB1BB/209-166

布魯克斯流量計SLAMF63S/AL1YA0BC1KA1B1

本公司是國內(nèi)的進口工業(yè)控制、溫度計、流量計、液位計、變送器、傳感器、PLC、泵閥、儀器儀表提供商。
我們?yōu)槲覈囊苯?、電力、石油化工、電子、半?dǎo)體、工業(yè)機械、機床、汽車等生產(chǎn)企業(yè)和科研院所提供世界知名的工業(yè)機電設(shè)備儀器儀表，以優(yōu)惠的價格和完善的售后技術(shù)服務(wù)在國內(nèi)公司樹立了良好的形象。
我們的優(yōu)勢供應(yīng)產(chǎn)品：羅斯蒙特ROSEMOUNT流量計、西克SICK傳感器、AB模塊、MTS位移傳感器、VEGA液位計、KRACHT齒輪泵、艾默生EMERSON流量計、圖爾克TURCK傳感器、E+H流量計、倍加福P+F傳感器、REXROTH力士樂、HEIDENHAIN海德漢、BECKHOFF倍福、皮爾磁PILZ安全繼電器、易福門IFM傳感器。

美國BROOKS真空計，布魯克斯真空計

美國BROOKS變面積流量計，布魯克斯變面積流量計

美國BROOKS壓力傳感器，布魯克斯壓力傳感器

美國BROOKS壓力計，布魯克斯壓力計

美國BROOKS熱式質(zhì)量流量計，布魯克斯熱式質(zhì)量流量計

美國BROOKS轉(zhuǎn)子流量計，布魯克斯轉(zhuǎn)子流量計

美國BROOKS壓力控制器，布魯克斯壓力控制器

布魯克斯質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）主要對氣體的流量進行準確測量、并對設(shè)定流量進行精準控制。
主要功能部件有質(zhì)量流量檢測部分、分流器通道、流量控制調(diào)節(jié)閥、信號處理電路和管道殼體等組成。
質(zhì)量流量檢測部分采用毛細管傳熱溫差量熱法原理，對測量氣體的質(zhì)量流量進行檢測。
這種檢測方式的傳感器受溫度壓力的影響甚微，無需格外的溫度和壓力補償。
質(zhì)量流量檢測部件通過傳感器加熱電橋測得的流量信號，通過專用的放大器轉(zhuǎn)換處理后與設(shè)定流量對應(yīng)的設(shè)定電壓進行比較。
比較所得的差值信號放大后去對調(diào)節(jié)閥進行控制，使檢測到的信號與設(shè)定的信號一致。
分流器的作用就是擴大通過流量控制器的流量，從氣體流向來看就是在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流。

BROOKS質(zhì)量流量控制器，包括進氣管路、出氣管路和控制組件，進氣管路和 / 或出氣管路為多條，進氣管路一端為進氣口，另一端與各出氣管路連通，各進氣管路上均設(shè)有電位監(jiān)測元件，控制組件與電位監(jiān)測元件連接，且控制組件控制進氣管路與出氣管路的氣體流量。
為實現(xiàn)多種氣體先均勻混氣后均勻供氣的目的，可采用本實用設(shè)置多條進氣管路和多條出氣管路，控制組件控制每條進氣管路及出氣管路的氣體流量，從而達到混氣均勻和供氣均勻的要求。
質(zhì)量流量控制器，其特征在于：所述控制組件包括計算控制單元和數(shù)據(jù)交換模塊，所述控制組件包括計算控制單元和數(shù)據(jù)交換模塊，所述計算控制單元與所述數(shù)據(jù)交換模塊連接，所述電位監(jiān)測元件、所述第一控制閥和所述第二控制閥均與所述計算控制單元連接。